半导体与光伏

半导体与光伏

半导体与光伏制造对气体纯度与稳定性要求极为严苛，工艺气体中的微量杂质即可影响良率。我们提供电子级特种气体与高纯气体，配套高洁净度包装与稳定供应方案。

典型气体

• 电子特气：硅烷、磷烷、乙硼烷、三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等
• 高纯气体：高纯氮、高纯氩、高纯氢、高纯氧（5N 及以上）
• 掺杂与刻蚀混合气：按工艺窗口定制配比

关注要点

• 纯度与杂质含量分析（H₂O、O₂、THC 等指标）
• 钢瓶内壁处理与颗粒物控制
• 供气连续性，避免产线因断供停摆