SF6 绝缘强度高,是高压开关设备的优良绝缘介质,也是重要的电子刻蚀气体。
纯度 99.99% / 99.999% CAS SF6
NF3 是半导体与平板显示行业常用的干法清洗气体,对纯度与杂质控制要求极高。
纯度 99.99% / 99.999% CAS NF3
硅烷遇空气自燃,须严格按规范储存与使用,提供高纯电子级产品。
纯度 99.9999% CAS SiH4
磷烷为高毒易燃气体,须配套专用管路与泄漏监测,我们提供合规包装与技术指导。
纯度 99.999% CAS PH3
CF4 常用于等离子刻蚀与 CVD 腔体清洗,供应高纯电子级产品。
纯度 99.999% CAS CF4